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自準直儀是利用光學自準直原理測量微小角度的長度測量工具。
自準直原理:
自準直原理:光線通過位于物鏡焦平面的分劃板后,經(jīng)物鏡形成平行光。平行光被垂直于光軸的反射鏡反射回來,再通過物鏡后在焦平面上形成分劃板標線像與標線重合。當反射鏡傾斜一個微小角度α角時,反射回來的光束就傾斜2α角。
自準直儀的光學系統(tǒng):由光源發(fā)出的光經(jīng)分劃板、半透反射鏡和物鏡后射到反射鏡上。如反射鏡傾斜,則反射回來的十字標線像偏離分劃板上的零位。
自準直儀分類:
因讀數(shù)系統(tǒng)的不同分為如下幾大類:
光學自準直儀:直接或利用測微裝置或可動分劃板從分劃板或讀數(shù)鼓輪上讀出 α角的分值和秒值。光學自準直儀的分度值有約1分到十數(shù)秒,精度最低。當以斜率(例如1/200)表示分度值時,通常稱這種自準直儀為平面度測量儀。
光學自準直儀:當以光電瞄準對線代替人工瞄準對線時,就稱為光電自準直儀。也有幾種不同的類型,光電瞄準(對線)原理與振子式光電顯微鏡的相似、光柵式或其它,精度較傳統(tǒng)自準直儀有所提高。
數(shù)字自準直儀:基于DSP、計算機及CCD或CMOS技術(shù)的新式自準直儀。也分為幾種,最大差異的分類是按面陣和線陣,面線陣CCD只能測試一個方向的數(shù)據(jù),可以測試兩個方向線陣的自準直儀是將兩個線陣組合或通過光學方式組合,精度相對差些,最主要的一般都有測試盲點,但是線陣式有時可以做得測試范圍更大些。
一般數(shù)字自準直儀具有動態(tài)響應和跟蹤功能,也稱為動態(tài)自準直儀,部分光電自準直儀也具有此功能。
自準直儀應用:
常用于測量導軌的直線度、平板的平面度(這時稱為平面度測量儀)等,也可借助于轉(zhuǎn)向棱鏡附件測量垂直度等。光電自準直儀多應用于航空航天、船舶、軍工等要求精密度極高的行業(yè),例如機械加工工業(yè)的質(zhì)量保證(平直度、平面度、垂直度、平行度等)、計量檢定行業(yè)中角度測試標準 、棱鏡角度定位及監(jiān)控、光學元件的測試及安裝精度控制等等 。 |