一:LuphoScan高速非接觸式3D非球面光學(xué)面形測量系統(tǒng)
LuphoScan測量平臺(tái)是一款基于多波長干涉技術(shù)(MWLI)的干涉式掃描測量系統(tǒng)。它專為旋轉(zhuǎn)對稱表面的超精密非接觸式3D形狀測量而設(shè)計(jì),例如非球面光學(xué)透鏡。
LuphoScan平臺(tái)能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如;拐點(diǎn)的輪廓或平坦的尖點(diǎn)), 最大物體直徑可達(dá)420 mm。因?yàn)椴捎枚嗖ㄩL干涉技術(shù)(MWLI)傳感器技術(shù),因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。
LuphoScan系統(tǒng)能夠?yàn)楦哔|(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測量提供正確效益
對任何旋轉(zhuǎn)對稱的表面的深入分析
超高、可重復(fù)精度
可測量任何材料 - 透明、鏡面、不透明、拋光、研磨
大球面的偏離
高速測量
直徑 - 20mm、260mm 或 420mm
使用LuphoSwap擴(kuò)展功能完成對光學(xué)部件形狀誤差特性的測量
LuphoScan 260和LuphoScan 420測量平臺(tái)可以應(yīng)用LuphoSwap的擴(kuò)展功能,來對透鏡兩個(gè)表面的所有特征進(jìn)行連續(xù)的測量。一個(gè)特殊的測量概念能夠?qū)蓚€(gè)表面的測量結(jié)果相關(guān)聯(lián)起來。這個(gè)概念就是在測量形狀誤差的同時(shí),LuphoSwap能夠確定透鏡兩側(cè)表面的精確的厚度、楔形度和偏心度誤差以及旋轉(zhuǎn)定位。此外,還能夠確定透鏡底座位置。這個(gè)強(qiáng)大的軟件工具功能來自于LuphoSmart傳感器技術(shù),一個(gè)優(yōu)質(zhì)的概念模式,以及額外的(跳動(dòng))基準(zhǔn)傳感器。
LuphoScan系統(tǒng)能夠?yàn)楦哔|(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測量提供正確效益:
1.對任何旋轉(zhuǎn)對稱的表面的深入分析:非球面、球面、平面和自由曲面
2.超高、可重復(fù)精度:≤±50nm
3.可測量任何材料:透明、鏡面、不透明、拋光、研磨
4.大球面的偏離:不受限制。例如,能夠測量盤式或者鷗翼表面,以及彎曲點(diǎn)的輪廓
5.大斜坡:可達(dá)90°(例:半球測量)
6.高靈活度:測量局部面、環(huán)形光學(xué)透鏡、矩形表面、衍射面結(jié)構(gòu)表面、錐透鏡
7.完整透鏡特征:透鏡厚度、楔形誤差、偏心誤差、透鏡安裝位置
8.直徑:120 mm、260 mm或者420 mm
9.高速測量:
例:1:58分(直徑=30mm,Roc=60mm,100點(diǎn)/mm2),或者5:29分(直徑=130mm,Roc=150mm,50點(diǎn)/mm2);
10.基于多波長干涉技術(shù)的光學(xué)計(jì)量應(yīng)用:
10.1LuphoScan平臺(tái)能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如;拐點(diǎn)的輪廓或平坦的尖點(diǎn)), 最大物體直徑可達(dá)420 mm。因?yàn)椴捎枚嗖ㄩL干涉技術(shù)(MWLI)傳感器技術(shù),因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。
10.2測量原理:掃描過程是通過多波干涉技術(shù)(MWLI)傳感器進(jìn)行的,包含四個(gè)精密工作臺(tái)。在測試條件下,MWLI點(diǎn)傳感器連續(xù)測量傳感器到被測物的距離。被測件放置在一個(gè)可360度旋轉(zhuǎn)的工作臺(tái)(C)上,與此同時(shí),傳感器的位置由兩個(gè)直線工作臺(tái)(允許水平(R)和垂直(Z))移動(dòng)和一個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái) (T) 進(jìn)行控制。在標(biāo)準(zhǔn)操作模式下,傳感器垂直和等距于被測表面。在嚴(yán)格操控下,沿著樣件對應(yīng)的理想的輪廓移動(dòng)完成面形掃描。在單個(gè)測量過程中,C臺(tái)帶動(dòng)被測物進(jìn)行旋轉(zhuǎn),其它的幾個(gè)平臺(tái)移動(dòng)傳器以便在整個(gè)測量平 面上進(jìn)行螺旋式掃描(如圖)。由此產(chǎn)生的點(diǎn)狀圖則顯示了可能出現(xiàn)的任何形狀偏差和物體表面的缺陷,從而完成了對表面形狀的測試。
二:LuphoScan 260 HD任何旋轉(zhuǎn)對稱光學(xué)元件的非接觸式三維形狀測量
LuphoScan 260 HD測量臺(tái)開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計(jì)量的新領(lǐng)域。新一代的測量系統(tǒng)能夠測量物件角度大至90° 度,絕對測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結(jié)果有著極高的重復(fù)性且低噪音。
全新的 LuphoScan 260 HD是對高精度有著極高要求應(yīng)用的理想選擇,是生產(chǎn)過程控制的最基本要求??蓽y量坡度極高的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機(jī)鏡頭模具。
無與倫比的測量能力
HD = 高分辨率
快速的、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測量
高精度 - 物件坡度高至90° 度
是測量大的、陡峭的和極小的非球面鏡頭(如手機(jī)鏡頭模具)的理想選擇
測量結(jié)果極高的重復(fù)性
Power和PV測定參數(shù)的正確穩(wěn)定性
系統(tǒng)噪音極低
堅(jiān)固耐用,不受環(huán)境變化的影響
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