102XB工業(yè)正置明暗場(chǎng)偏光金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開(kāi)發(fā)的。作為高級(jí)顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其超強(qiáng)性能,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè),可觀察較厚的標(biāo)本。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。
性能特點(diǎn):
1、WF10X(Φ25)大視野目鏡。
2、偏光系統(tǒng)。
3、無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)。
4、可調(diào)中心的轉(zhuǎn)換器;
技術(shù)參數(shù):
1、目鏡筒:30度鉸鏈?zhǔn)饺款^(50-75mm);
2、目鏡:WF10X(25)、WF10(20)分劃目鏡帶0.1mm分劃板;
3、轉(zhuǎn)換器:四孔轉(zhuǎn)換器,中心可調(diào);
4、無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)距物鏡:5×/0.15/W.D.35mm、10×/0.28/W.D.35mm、20×/0.40/W.D.20mm、50×/0.55/W.D.13mm;
5、移動(dòng)平臺(tái):190*140mm,移動(dòng)范圍50*40mm;
6、調(diào)焦:粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值2um;
7、濾色片:插板式綠、藍(lán)、中性;
8、光源:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/50W,AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié);
9、偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡檢偏鏡均可移出光路;
110、檢測(cè)工具:0.01mm測(cè)微尺;
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1、主機(jī):1臺(tái);
2、觀察鏡筒:1只;
3、10X目鏡:1對(duì);
4、物鏡:5、10、20、50X各一只;
5、鹵素?zé)襞荩?只;
6、偏光裝置:1套;
7、檢測(cè)工具:1片;
8、濾色片:1套;
9、合格證、保修卡、說(shuō)明書(shū):1套;
選購(gòu)件:
無(wú)限遠(yuǎn)物鏡:2X;
數(shù)碼適配鏡、數(shù)碼相機(jī);
精密載物臺(tái):X-Y行程25mm×25mm,移動(dòng)精度<5um,數(shù)顯手輪最小值:0.1um,360度旋轉(zhuǎn)盤(pán);
鹵素?zé)簦?2V/100W;
壓平機(jī);
測(cè)微目鏡;
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