7XB大平臺(tái)集成電路檢測(cè)金相顯微鏡是專為IT行業(yè)大面積集成電路,晶片的質(zhì)量檢測(cè)而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)制造的,配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、圖像清晰,襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開(kāi)發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用。
性能特點(diǎn):
超大型載物臺(tái),樣品可以大范圍的快慢速移動(dòng),擴(kuò)大檢測(cè)領(lǐng)域的使用范圍;
技術(shù)參數(shù):
1、目鏡筒:雙目鏡
2、目鏡:10X(18);
3、金相物鏡:
a、放大倍數(shù):4X、10X、20X、40X;
b、數(shù)值孔徑(N.A):0.10、0.25、0.40、0.65;
c、有效工作距離(mm):17.912、6.544、1.05、0.736;
4、介 質(zhì):干;
5、物鏡轉(zhuǎn)換器:四孔式;
6、總放大倍率:40X-400X;
7、載物臺(tái)面積:350mm*255mm,移動(dòng)范圍200*200mm;
8、粗微動(dòng)調(diào)焦范圍25mm,微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)一圈樣品升降0.2mm,格值2um;
9、光源:鹵素?zé)?V20W,內(nèi)藏式連續(xù)調(diào)光電源;
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1、主機(jī):1臺(tái);
2、觀察鏡筒:1只;
3、10目鏡:1對(duì);
4、物鏡:4、10、20、40X各一只;
5、鹵素?zé)襞荩?只;
6、合格證、保修卡、說(shuō)明書:1套;
選購(gòu)件:
長(zhǎng)距物鏡:50、80、100X;
數(shù)碼適配鏡、數(shù)碼相機(jī);
目鏡:12.5X、10X分劃;
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