MMAS-25半導(dǎo)體硅晶片倒置微分干涉金相顯微鏡分析系統(tǒng)采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),可提供出色的光學(xué)性能。緊湊穩(wěn)定的高剛性主體,充分體現(xiàn)了顯微操作的防振要求。模塊化的功能設(shè)計(jì),可以方便升級(jí)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)偏振觀察、暗視場觀察、明視場微分干涉觀察等功能。照明系統(tǒng)充分考慮散熱性與安全性,可快速更換燈泡。符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計(jì),使操作更方便舒適,空間更廣闊??捎糜诎雽?dǎo)體硅晶片、LCD基板、固體粉未及其它工業(yè)試樣的顯微觀察,是材料學(xué)、精密電子工程學(xué)等領(lǐng)域研究的理想儀器。 MMAS-25系統(tǒng)配備了研潤自主研發(fā)的MMAS測量分析系統(tǒng)以及MOS高端光學(xué)系統(tǒng)。

技術(shù)特點(diǎn):
1、柯拉照明系統(tǒng);
2、無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng);
3、微分干涉DIC相襯觀察系統(tǒng);
4、明暗場物鏡;
5、后置式攝影裝置;
技術(shù)參數(shù):
目鏡:大視野無色差SWF10X(視場數(shù)Φ22mm);
無限遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡(配明暗場微分干涉物鏡):
LMPlan5X/0.12 BDDIC,工作距離:7.9mm;
LMPlan10X/0.3 BDDIC,工作距離:6.03mm;
LMPlan20X/0.4 BDDIC,工作距離:1.4mm;
PLL50X/0.70BD,工作距離:2.5mm;
目鏡筒:三目鏡45度傾斜(瞳距調(diào)節(jié)53~75),后置式攝影接口;
落射照明:12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào);內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置,推拉式起偏器;
調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶粗動(dòng)手輪松緊度調(diào)整裝置,微動(dòng)格值:2μm;
轉(zhuǎn)換器:五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) ;
載物臺(tái):機(jī)械式載物臺(tái)外形尺寸:242mmX200mm,移動(dòng)范圍:橫向30mm,縱向:30mm;
圓形可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)板:最大外徑Ф130mm,最小通光口徑小于Ф20mm;
DIC插板:適用于LMPlan5X、10X、20XBD DIC物鏡;
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1、主機(jī);
2、物鏡:4只;
3、目鏡:1套;
4、適配鏡:1X;
5、接口:1只;
6、電腦:1套;
7、MMAS分析系統(tǒng):1套;
8、隨機(jī)文件:1套;
專業(yè)金相測量分析軟件功能:
MMAS金相顯微測量分析系統(tǒng)的核心功能是根據(jù)金相圖像進(jìn)行級(jí)別評定。目前以具備400多個(gè)按國家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制作的專業(yè)功能模塊。
MMAS金相顯微測量分析系統(tǒng)具備數(shù)十種圖像處理功能、同時(shí)具備報(bào)告處理、幾何測量、定倍打印、圖像拼接等多種輔助功能。
MMAS金相顯微測量分析系統(tǒng)還可以定制圖像共聚焦、三維光圖等專業(yè)功能。
MMAS金相顯微測量分析系統(tǒng)是為從事金相檢驗(yàn)的單位或個(gè)人專門開發(fā)的一套計(jì)算機(jī)軟件系統(tǒng),它的基本原理是:用視頻采集卡或數(shù)碼相機(jī)等硬件設(shè)備,采集到金相顯微鏡中的金相圖片,再對該圖片進(jìn)行處理和分析,得到相關(guān)檢驗(yàn)結(jié)果。
1.自動(dòng)評級(jí):
本軟件以檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)為依據(jù),開發(fā)出了近百余個(gè)類別兩百余種軟件功能模塊,用戶可根據(jù)需要,選擇檢驗(yàn)項(xiàng)目,在本軟件的幫助下,完成檢驗(yàn)工作。
2.新建報(bào)告:
可按用戶需求制作報(bào)告文檔的錄入界面、軟件可自動(dòng)生成電子報(bào)告文檔,并提供報(bào)告的保存和打印功能。
3.打開報(bào)告:
打開并瀏覽已經(jīng)保存的報(bào)告文件。
4.幾何測量:
本軟件提供了“直線”、“矩形”、“圓”、“多邊形”、“角度”等多種測量工具及測量方法,可完成長度、面積、角度等測量工作。
5.查看圖庫:
用戶可選擇查看本軟件收錄的所有金相圖譜,本軟件金相圖譜由用戶提供原始資料,由我方錄入。
6.定倍打?。?br />
可一次裝入多副圖片,并可對其進(jìn)行圖像處理,設(shè)置說明文字和打印版面,進(jìn)而生成一份適合各種行業(yè)特殊要求的報(bào)告文件。
7.圖像拼接:
將采集到的不同視場圖像拼接成一幅完整的圖像。
7.圖像共聚焦:

該功能模塊的作用是:將拍攝對象相同、但焦距不同的幾張照片,重合成一張清晰的照片。界面及重合效果.
8.三維光圖:

本模塊通過對圖像組織亮度的分析,構(gòu)建二維圖像的三維模型,該軟件模塊可檢查被觀測試樣是否平整。
|