8XB大平臺(tái)芯片檢測(cè)金相顯微鏡是專為IT行業(yè)大面積芯片,晶片的質(zhì)量檢測(cè)而設(shè)計(jì)開發(fā)制造的,配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用??蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。
性能特點(diǎn):
1、超大型載物臺(tái),樣品可以大范圍的快慢速移動(dòng),擴(kuò)大檢測(cè)領(lǐng)域的使用范圍;
2、明暗場(chǎng)、DIC等觀察;
3、無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng);
4、非球面科勒照明系統(tǒng);
技術(shù)參數(shù):
1、大視野目鏡:WF10(25mm)、WF10(20mm)帶0.1mm十字分劃板;
2、轉(zhuǎn)換器:帶DIC插孔的明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器;
3、平場(chǎng)無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)物鏡:5X/0.1B.D/W.D.29.4mm、10X/0.25B.D/W.D.16mm、20X/0.40B.D/W.D.10.6mm、40X/0.60B.D/W.D.5.4mm;
4、載物臺(tái):雙層機(jī)械移動(dòng)式 (尺寸:350mm*310mm,移動(dòng)范圍:250mm*250mm);
5、濾色片:插板式藍(lán)、綠、中性;
6、調(diào)焦:粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)微動(dòng)格值2um;
7、光源:落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié);
8、偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路;
9、檢測(cè)工具:0.01mm測(cè)微尺;
標(biāo)準(zhǔn)配置:
1、主機(jī):1臺(tái);
2、觀察鏡筒:1只;
3、WF10平場(chǎng)目鏡:1對(duì);
4、平場(chǎng)無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)物鏡:5、10、20、40X各一只;
5、鹵素?zé)襞荩?只;
6、偏光裝置:1套;
7、濾色片:1套;
8、檢測(cè)工具:1片
9、合格證、保修卡、說明書:1套;
選購(gòu)件:
長(zhǎng)距無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)物鏡:50、80、100X;
數(shù)碼適配鏡、數(shù)碼相機(jī);
目鏡:15X、20X;
DIC:10、20、40、100X;
壓平機(jī);
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