一.用途 平行平晶具有高精度的平面性和平行性。 平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺規(guī)等量具測量面的不平度和兩相對測量面的不平行度。
二.原理 平行平晶以光波干涉原理為基礎,利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來衡量被測量面的誤差程度。
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