光切法顯微鏡可用測微目鏡測出表面不平度平均高度值Rz。按國家標準,表面光潔度級別與不平度平均高度值Rz的關(guān)系,如圖所示:
精度等級
不平度平均高度值Rz(微米)
3
40~80
4
20~40
5
10~20
6
6.3~10
7
3.2~6.3
8
1.6`3.2
9
0.8~1.6
顯微鏡在測量時,所測量的表面范圍不少于五個波峰。 為使測量能正確而迅速地進行,要求按圖所列數(shù)據(jù)選擇物鏡。
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