光學(xué)顯微鏡原理之可見光的波長約為400~700nm
可見光的波長約為400~700 nm
光學(xué)微影術(shù)主要包括:G-line(436nm)、I-line (365nm)、KrF(248nm/DUV)、ArF(193nm/VUV) 非光學(xué)微影術(shù)主要包括:EBL、XRL(7~13 nm)、IPL、EUVL(13nm)
光學(xué)微影術(shù)雖然能藉由波長較短的光源及其他種種修正技巧,將解析度往下推進(jìn),但是進(jìn)步的空間終究有限,
因此發(fā)展出許多不同的制程技術(shù),希望可以繼續(xù)縮小線寬,非光學(xué)微影術(shù)使用的波 ??長遠(yuǎn)比一般非光學(xué)微影術(shù)制程所使用的光源波長更小,
因此能提供更高的解析度?!〕??波段不同以外,以更精確的語言來說,應(yīng)該可以分為"傳統(tǒng)光學(xué)微影術(shù)"和"非傳統(tǒng)光學(xué)微影術(shù)",借以區(qū)別兩個技術(shù)代的不同
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