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掃描式電子顯微鏡的主要用來(lái)做什么的？ 掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）主要利用電子光學(xué)系統(tǒng)將電子光束產(chǎn)生的電子聚焦成一微小的電子束至樣品表面， 并利用掃描線圈使其在樣品表面上掃描。電子束與樣品間的交互作用會(huì)激發(fā)出各種訊號(hào)， 如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等，SEM主要就是收集二次電子的訊號(hào)來(lái)成像。由于SEM其解析度高及景深大，放大倍率可達(dá)到一萬(wàn)倍以上， 故主要是用來(lái)觀察樣品表面及剖面微結(jié)構(gòu)， 如在設(shè)備上加裝能量分散X光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)時(shí)，則可對(duì)樣品表面同時(shí)進(jìn)行微區(qū)之材料分析， 包括定性、半定量之元素分析以及特定區(qū)域之point、line scan、mapping分析。 可提供高解析之表面結(jié)構(gòu)分析影像外，亦可進(jìn)行材料成份之分析。 應(yīng)用 針對(duì)各種材料表面微結(jié)構(gòu)觀察。 藉由SEM本身之量測(cè)功能，可提供精準(zhǔn)之尺寸量測(cè)，如膜厚等。