表面粗糙度的測量儀器中,觸針測量應用得最多表面粗糙度的測量 在一般表面粗糙度測量中,觸針法應用最多,由于用針尖半徑非常小韻觸針接觸加工巾的工件表面,所以很難獲得高精度測量。目前,在加工中測量工件表面粗糙度;還沒有最有效的測量方法。當工件材質(zhì)與加工方法一定時,也可以用從工件表面反射來的反射光進行測量。 在表面粗糙度的光學測量中,除反射光分布法外,還有光波干涉法和光切法。光波干涉法是以光波波長為測量基準,這種方法靈敏度嵩狙如果表面不是經(jīng)研磨的光潔表面時,很難用這種方法測量。特別是由于在加工中工件韻振動,大大地妨礙了這種方法的應用。光切法是利用前面講的激光光點或激光射線對工件掃描,測出表面粗糙度。 很早以前就研究了加工表面的粗糙度與工件表面漫反射光的關(guān)系。因為這種測量方法是非接觸測量,測量方法簡單易行 但是,漫反射光分布測量法是測量表面的平均反射光,如果認為表面粗糖度是統(tǒng)計值,利用這種方法是可以的,但是要了解粗糙度曲線的全面形狀,此種方法就有其不足之處 加工表面漫反射光的分布,不但受表面凹凸高度的影響,也受凹凸形狀、表面紋理微細裂紋等影響。由于加工零件材質(zhì)不同,反射光的波長和強度也發(fā)生變化:因此利用漫反射光分布測量表面粗糙度時,一般需事先確定加工材料和加工方法。光點位移測量法與前面所敘述的激光光點測量法相似。光點測量位置是在光軸方向上測出工件表面反射來的反射象點的位置。用光點測量表面粗糙度時,是在垂直于光軸的直線上(在熒光屏上)測量表面粗糙度形成的反射象點的位置。為了成象,必須機械地掃描被測表面,因此也可將這種裝置看作是一種掃描型的激光光電顯微鏡。
|