試件表面有鍍層樣品適合使用哪種顯微鏡測量 如果試件表面全部都有鍍層,而鍍層透明時仍可用干涉顯微鏡進行測量。這時在視場里可以看到二組干涉條紋:一組由鍍層表面產(chǎn)生;一組由襯底表面產(chǎn)生。由于表面反射系數(shù)差異,二組條紋襯度也有差別,因此很容易測量孔徑光闌的選擇 孔徑光闌大小不但控制了視場亮度,而且控制了物鏡的數(shù)值孔徑。光欄大,物鏡孔徑也大,鑒別率也高。但孔徑大時,對儀器各部分要求也高,所以大孔徑時一般干涉條紋質(zhì)量沒有小孔徑時好。故孔徑光闌不一定是開得愈大愈好,至少不能大于物鏡的孔徑。即拿掉目鏡,用眼睛直接在目鏡管里觀察時,孔徑光闌不能大于物鏡框的直徑,否則孔徑光闌發(fā)出的光線不能進入物鏡,反而造成有害的雜亂光線。其次對于測量▽10,▽11,▽12表面,孔徑光闌應(yīng)適當(dāng)縮小,以保證測量深度范圍和提高條紋的對比。即使測量工件光潔度為▽13,▽14,為了提高條紋的對比,也可以稍稍縮小孔徑光闌。用目視估計方法測量表面光潔度 用干涉顯微鏡測量光潔度,為了方便起見,往往采用目視方法。估計干涉條紋的彎曲量為干涉條紋寬度的幾倍或幾分之一,
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