微納幾何量指微納器件結(jié)構(gòu)的幾何尺寸-金相顯微鏡應(yīng)用 微納幾何量是指微納器件結(jié)構(gòu)的幾何尺寸,如微梁結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)、寬、厚度,微結(jié)構(gòu)臺(tái)階的高度等特征幾何尺寸。微納幾何量測(cè)試就是針對(duì)微納器件的幾何尺寸和幾何形貌的精密測(cè)試。常見的微納幾何量測(cè)試技術(shù)主要有顯微視覺測(cè)試技術(shù)、接觸式三維形貌測(cè)試技術(shù)、非接觸式三維形貌測(cè)試技術(shù)、微納三坐標(biāo)測(cè)試技術(shù)以及薄膜厚度測(cè)試技術(shù)等。 圖像微納結(jié)構(gòu)完整性檢測(cè)與分析主窗口和檢測(cè)結(jié)果。通過這種方法可以實(shí)現(xiàn)微納幾何圖形的完整性檢測(cè)與分析,從而實(shí)現(xiàn)微納制造過程中加工工藝與器件結(jié)構(gòu)的在線快速檢查。微納平面動(dòng)態(tài)特性測(cè)最面板電容式MEMS加速度計(jì)進(jìn)行平面振動(dòng)測(cè)量,驅(qū)動(dòng)信號(hào)為電壓幅度1.5V,偏置電壓1V的正弦波,經(jīng)20倍增益的高壓運(yùn)算放大器放大后加載到諧振器上(實(shí)際驅(qū)動(dòng)電壓峰峰值為30V,偏置電壓為20V),頻率掃描的起始頻率為0Hz,截至頻率為200Hz,頻率掃描間隔為1 Hz,采用運(yùn)動(dòng)模糊圖像檢側(cè)技術(shù),結(jié)合頻率掃描方法,得到不同驅(qū)動(dòng)頻率下MEMS加速度計(jì)平面振動(dòng)的幅頻特性曲線。
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