透射電子顯微鏡的原理和構(gòu)成及樣品的制備透射電子顯微鏡利用電子束波長較短且易于用電磁透鏡聚焦的特點(diǎn),可大大提高分辨率。但是,電子束不能穿透大塊金屬,所以透射電鏡必須制成復(fù)型或以金屬薄膜作為試樣,其制樣過程遠(yuǎn)較金相試樣復(fù)雜。兩種試樣都可觀察顯微組織,但是,金屬薄膜試樣還可應(yīng)用選區(qū)電子衍射和衍襯等方法獲得更多的信息,如晶體取向、晶體缺陷等。1.透射電鏡的構(gòu)成 透射電鏡的成像原理類似于金相顯微鏡,但二者的結(jié)構(gòu)卻截然不同透射電鏡主要由下列幾部分構(gòu)成:電子槍、電磁透鏡(雙聚光鏡、物鏡、中間鏡、投影鏡)、樣品室、觀察屏(底片盒)。2.金屬薄膜的制備過程如下: (1)機(jī)械減薄預(yù)先將待檢測的試樣,用機(jī)械切成0.5mm左右的薄片,再在砂紙磨薄至100μm, (2)化學(xué)減薄可消除機(jī)械減薄產(chǎn)生的表面變形層。(3)電解減薄可獲得表面光潔的合適薄膜。最后制成直徑為3mm、厚度為100~300nm的金屬薄膜。
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