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STM與AFM有何不同之處-電子顯微鏡技術(shù)簡(jiǎn)介掃瞄式探針顯微鏡 (Scanning Probe Microscope, SPM)近年來隨著科技的快速發(fā)展，各類產(chǎn)品皆有朝向微小化發(fā)展的趨勢(shì)，而顯微技術(shù)的發(fā)展無疑的是引領(lǐng)科技產(chǎn)品朝向微小化進(jìn)展的重要關(guān)鍵，因此在 1981 年在蘇黎世 IBM 公司的兩名研究員 G. Binnig 與H. Rohrer利用新的顯微概念成功的制造出第工一臺(tái)探針掃瞄式顯微鏡SPM即掃瞄式穿隧電流顯微鏡（Scanning Tunneling Microscope,STM），此發(fā)明突破了光學(xué)顯微鏡及電子顯微鏡的限制，將顯微技術(shù)帶入了一個(gè)新的時(shí)代，STM 是利用穿隧電流來成像的，因此樣品需具有導(dǎo)電性方能測(cè)試。為此 G. Binnig 與史丹佛大學(xué)的 Quate 在 1985 年研發(fā)出可測(cè)試非導(dǎo)體物質(zhì)之原子力顯微鏡（ Atomic Force Microscope, AFM），AFM 與 STM最大的不同是：其表面成像原理是藉由探針與樣品間微?。s為數(shù)個(gè) Nano newtons）的原子力會(huì)因樣品與探針間距離不同而有異來成像的。雖然 STM 與 AFM 可測(cè)得樣品表面型態(tài)至原子層次的解析度，但無法得知樣品的表面物理性質(zhì)，因而科學(xué)家經(jīng)由改良探針種類及成像原理陸續(xù)發(fā)展出一系列測(cè)試物質(zhì)表面物性的掃瞄式探針顯微技術(shù)，使得 SPM 的應(yīng)用更加擴(kuò)大，特別是因應(yīng)現(xiàn)階段奈米科技的發(fā)展，SPM 技術(shù)更是研究奈米材料的重要工具之一。而本實(shí)驗(yàn)所使用到的 CITS (Current Image Tunneling Spectroscopy, CITS ) 技術(shù)是由 AFM 衍生出來的，它可量測(cè)材料表面電阻的電流影像穿隧圖譜(CITS)，進(jìn)而得知導(dǎo)電樣品表面之導(dǎo)電均勻度
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