光學放大物鏡搭配測量裝置-測定微小工件投影儀在一般的情況之下,想要求得每一像素(pixels)實際代表的長度,可由 CCD 規(guī)格中的感測區(qū)域(Sensing Area)尺寸和鏡頭放大倍率來求得 CCD感測區(qū)域尺寸 每一像素點代表長度 ———————————————— 鏡頭放大倍率 CCD感測區(qū)域分辨率在普通的情況之下,以此種推算方法來計算實際的長度不會有多大的誤差。但如果以此公式套用在繞射極限附近的光學放大系統(tǒng)下,將會有極大的誤謬存在假設此數(shù)值代表了實際可以解析的能力,那此套系統(tǒng)將具有能解析到 0.013μm 的能力,若我們再選擇更高的 CCD 感測區(qū)域解析度,是否就可以繼續(xù)提高分辨率,當然,此問題的答案是否定的。原因是這個系統(tǒng)中根本不存在有經(jīng)此放大光學系統(tǒng)放大后大小剛好等于一個像素的光點。利用上式在繞射極限附近的光學放大系統(tǒng)下推算的誤謬在于,沒有考慮到光學系統(tǒng)的解析能力是有限的,以本系統(tǒng)為例,在繞射效應的限制之下,推算出的最大解析度將不會達到 493 個,由此可知光學系統(tǒng)的調(diào)制轉移函數(shù)(Modulation TransferFunction, MTF)將是整個分辨率上的限制。雖然一個像素所對應的大小,不能代表實際的尺寸,不見得有意義,但是數(shù)十個或是數(shù)百個像素所對應的尺寸,就擁有其不可否認的實際意義,但計算出來的數(shù)值,其有效的位數(shù)將被限制,在此種不合理的情況之下,要利用此種估算的方法,較能接受的即是采用相對比較的值
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