影像測量儀工具型顯微鏡-輪廓類精密機(jī)械零件尺寸測量 影像測量儀 是利用測頭接觸工件表面，沿X、Y、Z三軸向移動，由直角標(biāo)系統(tǒng)可以得知測頭中心點(diǎn)之位置， 因此可以得知工件的點(diǎn)座若將這此點(diǎn)影像送至數(shù)據(jù)處理機(jī)，由軟體程式的計(jì)算， 可以得知工件外型的細(xì)部尺寸。 以影像測量儀測量工件，使測量檢驗(yàn)工件進(jìn)入自動化，節(jié)省測量時間，提高測量效率與測量精度。 不僅如此影像測量儀扮演著重要的角色，它是精密測量中，最快速與準(zhǔn)確的自動化定量具。 結(jié)果顯示表面粗糙度越接近鏡面，高斯分布曲線將會越陡峭，表面粗糙度越粗糙時高斯分布將會越平坦， 鏡面反射能量隨粗糙度的增加而減少，減少的鏡面反射能量則成為繞射光與散射光源。 由此關(guān)系進(jìn)而推斷出表面粗糙度，再以最大灰階法及平均灰階法推斷出在試片表面粗糙度于波長的1/10范圍內(nèi)粗糙度， 并獲得良好的關(guān)系性建構(gòu)之非接觸式表面粗糙度儀，得以評估超精密加工件之表面粗糙度。
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