電子顯微鏡觀察分析焊錫接點-金屬焊接小常識
電遷移對于焊錫接點的影響
除了利用Kelvin Four-point Probe監(jiān)控焊錫接點之電阻在電遷移測試中的變化外,
同時也觀測相對應的微觀結構變化。而為了可以更加準確的預測出焊錫接點之壽命,
利用鋁導線TCR之特性,我們可以成功校??正得到焊錫接點在測試中的真實溫度,
有助于正確的估算出電遷移之活化能。不同金屬墊層材料及設計對于接點壽命的
影響,相較于Cu UBM,Ni UBM 則據有較高??的抗電遷移以及熱遷移之特性因而
有較長的接點壽命。
針對越來越受到矚目的熱遷移現(xiàn)象做較深入的討論。與以往觀察到的不同,
上方的Cu金屬墊層,除了會因為具有往冷端移動的特性外,
更因為在Sn-based為主的焊錫接點中可沿著c軸進行非??焖俚拈g隙型擴散,
導致在沒有電流通過的和錫接點下中也會有相當嚴重程度的破壞。
反之,Ni金屬并無出現(xiàn)同樣的破壞機制。
同時,另一意外的發(fā)現(xiàn)為:在沒有通過電流的焊錫接點上方之鋁導線也有嚴重的
破壞產生。穿透式電子顯微鏡之分析,顯示為擴散阻障層之Ti也消失不見,
故我們推論不僅僅是Al本身之熱遷移,連同Ti之熱遷移,才會造成導線之破壞
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