提高解析度輕敲式掃描電子顯微鏡的原理 輕敲式(tapping mode) 輕敲式原子力顯微鏡是介于接觸式和非接觸式之間的一種模式。相對于非接觸式, 輕敲式則是加大振幅與縮短針尖與樣品之間的距離,使振盪中的懸臂樑更接近樣品,而針尖與樣品之間的距離已縮 小到使得懸臂樑振盪振幅的最低點能夠"輕敲"樣品的表面。此法不 僅可以提高解析度,并減少破壞樣品的機率,所以此模式亦是目前最常使用的方法