微小機臺幾何誤差量測之研究
針對微小化的工具機或量測設(shè)備，探討適用于微小機臺之幾 何誤差量測與誤差補償方法。
雖然激光干涉儀是目前業(yè)界量測機臺幾何誤 差的標準設(shè)備，但受限于微小機臺的工作空間，
架設(shè)光學鏡組并以激光干涉儀量測幾何誤差的方法并不可行，而是必須思考其他可能量測機臺誤差的方法。
介紹同時適用于小型工具機與量測顯微鏡之幾何誤差量測技術(shù)，
依據(jù)翻轉(zhuǎn)校正工件的量測概念，建立真直度與垂直度的誤差量 測方法。
后續(xù)經(jīng)由量測實驗所獲得的幾何誤差資料，配合機臺之幾何誤差
模型推導，便可建立誤差地圖，進而補償機臺之幾何誤差，提升設(shè)備精度。
以傳統(tǒng)的工具機而言，機臺誤差的來源不外乎是驅(qū)動元件、傳動機構(gòu)、機
械零組件、設(shè)備組裝與環(huán)境變化影響等因素，選用高精度之元件固然可以
降低機臺的誤差量，不過因此所增加的成本并不等同于設(shè)備精度之提升，
一般只有針對高精密之工具顯微鏡與三次元量測設(shè)備，才會使用高規(guī)格零件來
打造高重現(xiàn)性的平臺。隨著科技的發(fā)展，新型式的驅(qū)動元件與傳動機構(gòu)不
斷推陳出新，環(huán)境控制設(shè)備的技術(shù)也愈趨成熟，使得近年來新推出的工具
機在精度上有所提升，不過硬體組件公差與機臺組裝誤差仍然存在，唯有導入機臺之幾何誤差補償技術(shù)，
才可以減少元件公差與裝配誤差的影響，進一步提升設(shè)備的精度
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