工具顯微鏡自動對焦的原理
自動對焦的原理
系統(tǒng)可進(jìn)行XY水平量測。但是僅憑CCD攝像機(jī)影像,系統(tǒng)
無法進(jìn)行高度量測。系統(tǒng)通常都具備自動對焦機(jī)制,用于高度
測量。以下向您介紹使用普通影像的自動對焦機(jī)制,雖然有些
系統(tǒng)可能使用激光自動對焦。
系統(tǒng)沿著Z軸上下移動CCD,進(jìn)行影像分析。在分析影像對比時,清晰
的影像表示對比值較大,模糊的影像表示對比值較小。
因此影像對比度最高時的高度即為焦距高度。
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