材料具有很多的優(yōu)異特性,如鐵電性、壓電性、焦電性,
因此被廣泛地應(yīng)用在微電子元件中,其具有自發(fā)極化性且極化方向能藉由施加外加電場(chǎng)反轉(zhuǎn),所以可以拿來(lái)當(dāng)作記憶元件,也因此更使得鐵電材料被廣泛地研究;
由于鐵電薄膜的巨觀性質(zhì)與其微觀的鐵電區(qū)有關(guān),
所以量測(cè)薄膜的鐵電區(qū)結(jié)構(gòu)與觀測(cè)其極化機(jī)制就顯得十分的重要;
因此需要具納米尺度的檢測(cè)技術(shù),其中以?huà)呙杼结橈@微術(shù)
(scanning probe microscopy)為適合進(jìn)行作研究的工具之一,
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