常用顯微術(shù)比較
光學(xué)顯微術(shù)( OM )
掃描電子顯微術(shù)( SEM )
穿透電子顯微術(shù)( TEM )
掃描探針顯微術(shù)( SPM )
橫向解析度
300 nm
1 nm
原子級(jí)
縱向解析度
20 nm
10 nm
無(wú)
成像范圍
1mm
0.1mm
成像環(huán)境
無(wú)限制
真空
樣品準(zhǔn)備
簡(jiǎn)單
鍍導(dǎo)電膜
手續(xù)繁復(fù)
成份分析
有